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深圳20分鍾時時彩下載VGT-1403FH藍寶石襯底光學超聲波清洗機
發布時間:2019-10-06 09:33:59閱讀:(404)


一、引言(學習藍寶石襯底的用意及用處)


近二十年來,氮化镓基發光二極管取得了飛躍式發展,並實現了大規模的產業化生產。氮化镓基發光二極管由於其高效、節能、環保等優越性能,將取代現有的白熾燈、熒光燈、鹵化燈等而成為主流的固態照明工具。


然而,同質外延生長所需的高質量GaN襯底的價格昂貴且遠不能滿足大規模生產的需求。現有的外延襯底大部分仍是藍寶石,由於藍寶石與GaN材料存在晶各失配和熱失陪等缺點,這阻礙了GaN晶體質量的提高,從而導致了GaN的發光器件性能的進一步提高。大量研究表明,圖形化藍寶石襯底有利於降低晶體的位錯密度和應力釋放,從而大大改善GaN晶體的質量和GaN的發光器件性能。


二、藍寶石襯底的常規清洗方法


在正常的室溫下,有機溶劑超聲清洗,以及加熱條件下,丙酮浸泡。


實施本發明的藍寶石襯底清洗方法,取消了傳統清洗方法中使用的三氯乙烯試劑,減少了環境汙染,避免人員中毒,在清洗過程中,使用超聲波和加熱清洗,可節省清洗時間,提高清洗效率和質量。工藝簡單、操作方便,滿足環保要求。


然而,使用超聲波清洗機清洗藍寶石襯底,是利用了超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和汙物直接、間接的作用,使汙物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的。


三、藍寶石襯底清洗用超聲波設備類型中的光學超聲波清洗機


深圳20分鍾時時彩下載VGT-1403FH為光學超聲波清洗機,設備共有14個功能槽,配置有循環過濾係統、有機溶劑蒸餾回收係統、自動恒溫係統、拋動係統、超聲波清洗係統、抽風裝置、環保液前處理係統、慢拉脫水、熱風烘幹等。設備采用環保型有機溶劑洗滌、水溶劑洗滌、純水漂洗、離心烘幹為環保型清洗機。是藍寶石襯底在清洗設備上值得首要考慮的。


四、深圳20分鍾時時彩下載VGT-1403FH光學超聲波清洗機的小部分結構配置是這此需了解的


熱風烘幹槽:


結構:每個烘幹槽配置一套氣缸。


加熱係統結構:


1、外置式不鏽鋼加熱箱;


2、內設不鏽鋼加熱管,功率12KW,配OMRON數顯式溫控係統,監控箱內熱風溫度,溫控範圍:~120℃。


FFU壓風係統:


結構:在烘幹槽正上方的機架頂部設置一個FFU層流送風單元。由上往下吹風形成負壓風,致使工件加熱後附著物不易粘附。


功能:因慢拉槽液溫較高,如無頂部的FFU壓風,大量的水汽將往上騰,水氣會再次附著於提出的藍寶石襯底上;安裝FFU後,可在上方形成局部正壓,大部分水氣從缸麵的抽氣口抽走。


其實,也有很多對幹淨後的藍寶石襯底樣品選擇進行旋轉吹幹處理。深圳20分鍾時時彩下載的甩幹機的基本工藝操作流程簡單概述下:


開機—參數設置—裝入樣品—啟動,執行工藝流程—啟動,執行工藝流程—過程結束,取出樣品。

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